Shanghai AfaPa Vacuum Equipment Co., ltd
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FF涡轮分子泵
涡轮分子泵Turbo Molecular Pump
涡轮分子泵是一种高真空获得设备（真空度可高达10-8Pa），具有真空度高、抽速大、无油洁净等优点。分子泵运行时须有前级泵工作和专用电源供电。
应用领域Applications
广泛应用于镀膜、电子、半导体、太阳能、真空炉、化工、离子刻蚀、光盘制造、制灯、航空航天、核能源等相关行业和教学、科研单位。
优势 Advantages
规格齐全，抽气速度从600L/S到3600L/S
叶片角度、厚度优化设计，抽气速度、真空度和耐冲击可靠性更优
泵十级动片设计，比普通多一级或二级，压缩比性能更佳
节能，功率消耗低（相比其他高真空泵）
U型整体水冷管设计，充分保障分子泵轴承冷却，泵的可靠性更好
全面质量体系，泵整机出厂前经过二十多项严格检测
泵动平衡精度高，长期运行平稳可靠
主动式服务，让客户买的放心、用的安心、感到暖心
FF油润滑涡轮分子泵 Oil Lubricated Turbo Molecular Pump
经典款，稳定性能好
真空性能好，极限真空度可达10-8 Pa
轴承油润滑，能连续长时间运行
可获得清洁真空（相比油扩散泵）
采用高性能陶瓷轴承和高强度材料
有温度过热保护功能
低噪音，运行时声音分贝数较低
冷却方式可选择风冷或水冷
技术指标Technical Specifications
FFB 脂润滑涡轮分子泵 Grease Lubricated Turbo Molecular Pump
任意角度安装，使用方便
真空性能好，极限真空度可达10-8 Pa
特种脂润滑，能连续长时期运行
可获得清洁真空（相比油扩散泵）
采用高性能陶瓷轴承和高强度材料
有温度过热保护功能
低噪音，运行时声音分贝数较低
冷却方式可选择风冷或水冷
技术指标Technical Specifications
